Օպտիկական դիզայնը լայն կիրառություն ունի կիսահաղորդչային ոլորտում: Ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենայում օպտիկական համակարգը պատասխանատու է լույսի աղբյուրից արտանետվող լույսի ճառագայթը կենտրոնացնելու և այն սիլիկոնային վաֆլի վրա ցուցադրելու համար՝ շղթայի օրինաչափությունը բացահայտելու համար: Հետևաբար, ֆոտոլիտոգրաֆիայի համակարգում օպտիկական բաղադրիչների նախագծումը և օպտիմիզացումը կարևոր միջոց է ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենայի աշխատանքը բարելավելու համար: Ստորև բերված են ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենաներում օգտագործվող օպտիկական բաղադրիչներից մի քանիսը.
Պրոյեկցիոն նպատակ
01 Պրոյեկցիոն նպատակը լիտոգրաֆիայի մեքենայի հիմնական օպտիկական բաղադրիչն է, որը սովորաբար բաղկացած է մի շարք ոսպնյակներից, ներառյալ ուռուցիկ ոսպնյակներ, գոգավոր ոսպնյակներ և պրիզմաներ:
02 Դրա գործառույթն է սեղմել շղթայի նախշը դիմակի վրա և կենտրոնացնել այն ֆոտոռեսիստով պատված վաֆլի վրա:
03 Պրոյեկցիոն նպատակի ճշգրտությունը և կատարումը որոշիչ ազդեցություն ունեն լիտոգրաֆիայի մեքենայի լուծման և պատկերի որակի վրա
Հայելի
01 Հայելիներօգտագործվում են լույսի ուղղությունը փոխելու և այն ճիշտ վայր ուղղելու համար:
02 EUV լիտոգրաֆիայի մեքենաներում հայելիները հատկապես կարևոր են, քանի որ EUV լույսը հեշտությամբ կլանում է նյութերը, ուստի պետք է օգտագործվեն բարձր անդրադարձնող հայելիներ:
03 Ռեֆլեկտորի մակերևույթի ճշգրտությունը և կայունությունը նույնպես մեծ ազդեցություն ունեն լիտոգրաֆիայի մեքենայի աշխատանքի վրա:
Զտիչներ
01 ֆիլտրերը օգտագործվում են լույսի անցանկալի ալիքների երկարությունները հեռացնելու համար՝ բարելավելով ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու որակը:
02 Ընտրելով համապատասխան զտիչը՝ կարելի է ապահովել, որ միայն որոշակի ալիքի երկարության լույս է մտնում լիտոգրաֆիայի մեքենա՝ դրանով իսկ բարելավելով լիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու կայունությունը։
Պրիզմաներ և այլ բաղադրիչներ
Բացի այդ, լիտոգրաֆիայի մեքենան կարող է նաև օգտագործել այլ օժանդակ օպտիկական բաղադրիչներ, ինչպիսիք են պրիզմաները, բևեռացնողները և այլն՝ լիտոգրաֆիայի հատուկ պահանջները բավարարելու համար: Այս օպտիկական բաղադրիչների ընտրությունը, նախագծումը և արտադրությունը պետք է խստորեն հետևեն համապատասխան տեխնիկական ստանդարտներին և պահանջներին՝ լիտոգրաֆիայի մեքենայի բարձր ճշգրտությունն ու արդյունավետությունն ապահովելու համար:
Ամփոփելով, օպտիկական բաղադրիչների կիրառումը լիտոգրաֆիայի մեքենաների ոլորտում նպատակ ունի բարելավել լիտոգրաֆիայի մեքենաների աշխատանքը և արտադրական արդյունավետությունը՝ դրանով իսկ աջակցելով միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրության արդյունաբերության զարգացմանը: Լիտոգրաֆիայի տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման շնորհիվ օպտիկական բաղադրիչների օպտիմալացումն ու նորարարությունը նույնպես ավելի մեծ ներուժ կապահովի հաջորդ սերնդի չիպերի արտադրության համար:
Լրացուցիչ պատկերացումների և փորձագետների խորհրդատվության համար այցելեք մեր կայք հետևյալ հասցեովhttps://www.jiujonoptics.com/ավելին իմանալու մեր արտադրանքի և լուծումների մասին:
Հրապարակման ժամանակը` Հունվար-02-2025
