Օպտիկական դիզայնը կիսահաղորդչային դաշտում ունի ծրագրերի լայն շրջանակ: Ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենայի մեջ օպտիկական համակարգը պատասխանատու է լույսի աղբյուրի կողմից արտանետվող լույսի ճառագայթը կենտրոնացնելու եւ այն սիլիկոնային վաֆլի վրա նախագծելու համար `միացման օրինաչափությունը բացահայտելու համար: Հետեւաբար, ֆոտոլիտոգրաֆիայի համակարգում օպտիկական բաղադրիչների ձեւավորումը եւ օպտիմիզացումը կարեւոր միջոց է ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենայի կատարողականի բարելավման համար: Հետեւյալը ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենաներում օգտագործվող օպտիկական բաղադրիչներից են.
Նախագծման նպատակը
01 Նախագծման նպատակը լիտոգրաֆիայի մեքենայի հիմնական օպտիկական բաղադրիչն է, սովորաբար բաղկացած է մի շարք ոսպնյակներից, ներառյալ ուռուցիկ ոսպնյակներ եւ պրիզմա:
02 Դրա գործառույթը դիմակի վրա միացման ձեւը նեղացնելն է եւ կենտրոնացնել այն ֆոտոտեսիստով ծածկված վաֆլի վրա:
03 Նախագծման նպատակի ճշգրտությունն ու կատարումը որոշիչ ազդեցություն ունեն լիտոգրաֆիայի մեքենայի լուծման եւ պատկերացման որակի վրա
Հայելի
01 Հայելիներօգտագործվում են լույսի ուղղությունը փոխելու եւ այն ճիշտ գտնվելու վայրում:
02 EUV Վատագրական մեքենաներում հայելիները հատկապես կարեւոր են, քանի որ EUV լույսը հեշտությամբ ներծծվում է նյութերով, այնպես որ պետք է օգտագործվեն բարձր արտացոլող հայելիներ:
03 Ռեֆլեկտորի մակերեւութային ճշգրտությունը եւ կայունությունը մեծ ազդեցություն են ունենում նաեւ վիմոգրաֆիայի մեքենայի գործունեության վրա:
Զտիչներ
01 ֆիլտրը օգտագործվում է լույսի անցանկալի ալիքի երկարությունները հեռացնելու, ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտության եւ որակի բարելավման համար:
02 Ընտրելով համապատասխան ֆիլտրը, կարելի է ապահովել, որ հատուկ ալիքի երկարության միայն լույսը մտնի լիտոգրաֆիայի մեքենա, դրանով իսկ բարելավելով վիմոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունը եւ կայունությունը:
Prisms եւ այլ բաղադրիչներ
Բացի այդ, վիմագրական մեքենան կարող է օգտագործել նաեւ այլ օժանդակ օպտիկական բաղադրիչներ, ինչպիսիք են պրիզմայերը, բեւեռացնողները եւ այլն, հատուկ վիթոգրաֆիայի պահանջները բավարարելու համար: Այս օպտիկական բաղադրիչների ընտրությունը, ձեւավորումը եւ արտադրությունը պետք է խստորեն հետեւեն համապատասխան տեխնիկական ստանդարտներին եւ պահանջներին `լիտոգրաֆիայի մեքենայի բարձր ճշգրտությունն ու արդյունավետությունն ապահովելու համար:
Ամփոփելով, օպտիկական բաղադրիչների կիրառումը `վիմագրական մեքենաների ոլորտում, նպատակ ունի բարելավել կոլոգրաֆիկ սարքավորումների կատարողականի եւ արտադրության արդյունավետությունը, դրանով իսկ աջակցելով միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրության արդյունաբերության զարգացմանը: Լիտոգրաֆիայի տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացումով օպտիկական բաղադրիչների օպտիմալացումը եւ նորարարությունը նույնպես ավելի մեծ ներուժ կներկայացնեն հաջորդ սերնդի չիպերի արտադրության համար:
Լրացուցիչ պատկերացումների եւ փորձագիտական խորհրդատվության համար այցելեք մեր կայքhttps://www.jiujonoptics.com/Մեր ապրանքների եւ լուծումների մասին ավելին իմանալու համար:
Փոստի ժամանակ: Jan-02-2025
