Լիտոգրաֆիկ մեքենաների օպտիկական բաղադրիչները

Օպտիկական նախագծումը կիսահաղորդչային ոլորտում լայն կիրառություն ունի: Լուսավիտոգրաֆիկ սարքում օպտիկական համակարգը պատասխանատու է լույսի աղբյուրից արձակված լույսի փունջը կենտրոնացնելու և այն սիլիցիումային թիթեղի վրա պրոյեկտելու համար՝ սխեմայի պատկերը բացահայտելու համար: Հետևաբար, լուսանկարավիտոգրաֆիկ համակարգում օպտիկական բաղադրիչների նախագծումը և օպտիմալացումը կարևոր միջոց է լուսանկարավիտոգրաֆիկ մեքենայի աշխատանքը բարելավելու համար: Ստորև ներկայացված են լուսանկարավիտոգրաֆիկ սարքերում օգտագործվող որոշ օպտիկական բաղադրիչներ.

Կանխատեսման նպատակը
01 Պրոյեկցիոն օբյեկտիվը լիտոգրաֆիկ մեքենայի հիմնական օպտիկական բաղադրիչն է, որը սովորաբար բաղկացած է մի շարք ոսպնյակներից, այդ թվում՝ ուռուցիկ ոսպնյակներից, գոգավոր ոսպնյակներից և պրիզմաներից։
02 Դրա գործառույթը դիմակի վրա սխեմայի պատկերը կծկելն ու այն ֆոտոռեզիստով պատված թիթեղի վրա կենտրոնացնելն է։
03 Պրոյեկցիոն օբյեկտիվի ճշգրտությունն ու կատարողականությունը վճռորոշ ազդեցություն ունեն լիտոգրաֆիկ մեքենայի լուծաչափի և պատկերման որակի վրա։

Հայելի
01 Հայելիներօգտագործվում են լույսի ուղղությունը փոխելու և այն ճիշտ տեղ ուղղորդելու համար։
02 EUV լիտոգրաֆիկ սարքերում հայելիները հատկապես կարևոր են, քանի որ EUV լույսը հեշտությամբ կլանվում է նյութերի կողմից, ուստի պետք է օգտագործվեն բարձր անդրադարձունակությամբ հայելիներ։
03 Լույսի արտացոլիչի մակերեսի ճշգրտությունը և կայունությունը նույնպես մեծ ազդեցություն ունեն լիտոգրաֆիկ մեքենայի աշխատանքի վրա։

Ֆիլտրեր
01 ֆիլտրերը օգտագործվում են լույսի անցանկալի ալիքի երկարությունները հեռացնելու համար, բարելավելով ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու որակը:
02 Համապատասխան ֆիլտրը ընտրելով՝ կարելի է ապահովել, որ լիտոգրաֆիկ մեքենա մտնի միայն որոշակի ալիքի երկարության լույս, դրանով իսկ բարելավելով լիտոգրաֆիկ գործընթացի ճշգրտությունն ու կայունությունը։

Պրիզմաներ և այլ բաղադրիչներ
Բացի այդ, լիտոգրաֆիկ մեքենան կարող է օգտագործել նաև այլ օժանդակ օպտիկական բաղադրիչներ, ինչպիսիք են պրիզմաները, բևեռացնողները և այլն,՝ լիտոգրաֆիկ որոշակի պահանջները բավարարելու համար: Այս օպտիկական բաղադրիչների ընտրությունը, նախագծումը և արտադրությունը պետք է խստորեն համապատասխանեն համապատասխան տեխնիկական չափորոշիչներին և պահանջներին՝ լիտոգրաֆիկ մեքենայի բարձր ճշգրտությունն ու արդյունավետությունն ապահովելու համար:

Ամփոփելով՝ լիտոգրաֆիկ մեքենաների ոլորտում օպտիկական բաղադրիչների կիրառումը նպատակ ունի բարելավել լիտոգրաֆիկ մեքենաների աշխատանքը և արտադրական արդյունավետությունը, դրանով իսկ նպաստելով միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրության արդյունաբերության զարգացմանը: Լիտոգրաֆիկ տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման հետ մեկտեղ, օպտիկական բաղադրիչների օպտիմալացումը և նորարարությունը նաև ավելի մեծ ներուժ կապահովեն հաջորդ սերնդի չիպերի արտադրության համար:

Ավելի շատ տեղեկություններ և մասնագիտական ​​խորհրդատվություն ստանալու համար այցելեք մեր կայքը՝https://www.jiujonoptics.com/մեր արտադրանքի և լուծումների մասին ավելին իմանալու համար։